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洁净室洁净等级划分的原因
发布日期:2019-04-12 来源:本站 作者:admin

洁净室洁净等级划分的原因:(一)洁净室定义

洁净室,亦称为无尘室或洁净室。

洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。即不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。洁净室洁净等级划分的原因:(二)洁净室等级

世界各国均有自己定义的规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多。

美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。洁净室洁净等级划分的原因:(三)洁净室管控项目

1. 除去空气中飘游微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子的产生。

3. 温度和湿度控制。

4. 压力调节。

5. 有害气体排除。

6. 结构物与隔间的气密性。

7. 静电防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 安全因素考虑。

10. 节能之考量。洁净室洁净等级划分的原因:(四)洁净室之分类

1.乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

 2.层流式:层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

(2)垂直层流式:房间天花板完全以过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

3.复合式:

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。  (2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

(3)并装局部洁净室:将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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