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无尘室日常管理——操作须知
发布日期:2019-10-09 来源:本站 作者:admin

无尘室操作须知

1.处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:

(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

(2)芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。

(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。

2.芯片必须放置盒中,盖起来存放于规定位置,尽可能不让它暴露。

3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮气枪喷之。

4.从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。

5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6.操作时,不论是否戴上手套,手绝不能放进清洗水槽。

7.使用化学站或烤箱处理芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。

8.摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必须重作清洗。

10. 手套,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

11.非经指示,绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12.奇怪的味道或反应异常的溶液,颜色,声响等请即通知相关人员。

13.仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人员或老师。

14.芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,一般纸张与铅笔不得携入。

二、黄光区操作须知

1.湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。

2.上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。

3.己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必须盖妥。

4.光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气枪吹之。

5.曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

三、镊子使用须知

1.进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。

2.唯有使用干净的镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其它原因而遭污染,必须拿去清洗,方可再使用。

3.镊子使用后,应放于各站规定处,不可任意放置,如有特殊制程用镊子,使用后应自行保管,不可和实验室内各站之镊子混合使用。

4.持镊子应采握笔式姿势挟取芯片。

5.挟取芯片时,顺序应由后向前挟取,放回芯片时,则由前向后放回,以免刮伤芯片表面。

6.挟取芯片时,短边 (锯状头)置于芯片正面,长边 (平头)置于芯片背面,挟芯片空白部分,不可伤及芯片。

7.严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。

8.镊子仅可做为挟取芯片用,不准做其它用途。

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